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40kHZ/13.56 MHz VGB系列手套箱等離子清洗機

價格
電議

型號
VGB3/VGB3Plus

品牌
CIF

所在地
上海市 松江縣

更新時間
2025-08-06 11:50:03

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    CIF推出VGB系列手套箱等離子清洗設備，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設計更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡單方便，性能穩(wěn)定，實用性強，容易維護。

    產(chǎn)品型號：

    VGB3/VGB3Plus

    一、應用領域

    等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、新能源、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學等領域，主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。

    CIF推出VGB系列手套箱等離子清洗設備，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設計更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡單方便，性能穩(wěn)定，實用性強，容易維護。

    二、技術參數(shù)

    型號

    VGB3

    VGB3Plus

    艙體尺寸

    D200XΦ155mm

    D200XΦ155mm

    艙體容積

    3.8L

    3.8L

    艙體材質(zhì)

    不銹鋼

    不銹鋼

    射頻電源

    40KHz

    13.56MHz

    匹配器

    自動匹配

    自動匹配

    激發(fā)方式

    電容式或電感

    電容式

    射頻功率

    0-500W可調(diào)

    0-150W可調(diào)

    氣體控制

    雙浮子流量計（標配）

    有效處理尺寸

    L200xW155mm

    時間設定

    9999秒

    真空泵

    抽速4m3/h

    氣體穩(wěn)定時間

    1分鐘

    真空度

    100pa以內(nèi)

    電 源

    AC220V 50/60Hz  666/316W

    艙體尺寸

    L235xW345xH245mm

    控制尺寸

    L330xW490xH190mm

    包裝尺寸

    L450xW640xH690mm

    整機重量

    25kg

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