ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR180A

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR180A

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

干式真空泵“Model：GR”是在久經(jīng)考驗的“Model：LR?HR”的基礎(chǔ)上，為一般工業(yè)設(shè)計的結(jié)構(gòu)簡單的泵。

長處

可用于高負(fù)載應(yīng)用，例如大氣~真空的重復(fù)抽真空和高壓區(qū)域的連續(xù)運(yùn)行

非常適合需要高通量的載重鎖室（制備室和取出室）的排氣

與通用感應(yīng)電機(jī)兼容

可安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）

使用多電壓電機(jī)

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

各種沉積設(shè)備的制備室和取出室的排氣

一般工業(yè)應(yīng)用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡

真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣

型			GR60A 系列		GR90A 系列		GR180A 系列
*抽速	50 赫茲	m3/h（升/分鐘）	62(1860)		112(1030)		183(3100)
	60 赫茲	m3/h（升/分鐘）	80(1333)		126(2100)		237(3850)
極限壓力 *1		帕	5.0
*入口壓力			氣壓
*排氣口壓力		帕	1~大氣壓
進(jìn)氣口			VG50 系列		VG80型
排氣口			西北 40
DRP 表面處理			〇
發(fā)動機(jī)	輸出功率 [kW]		2.2		3.7		7.5
	電壓 [V]	50 赫茲	200~240/380~415°C
		60 赫茲	200~240/380~460°C
質(zhì)量		公斤	128		188		268
冷卻方式	冷卻水 的一次供應(yīng)壓力	兆帕	0.1~0.3
	冷卻水 入口/出口壓差	兆帕	>0.1
	冷卻水溫度	°C	10~30 *2
	冷卻水流量控制	升/分鐘	>5.0
氮?dú)?	一次供氣壓力	兆帕	0.1~0.5
	出口 調(diào)節(jié)壓力 *3	兆帕	0.05~0.1（運(yùn)轉(zhuǎn)）
	軸	SLM 系列	5.0 *4

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。