ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 GR90A

ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 GR90A

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

干式真空泵“Model：GR”是在久經(jīng)考驗(yàn)的“Model：LR?HR”的基礎(chǔ)上，為一般工業(yè)設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的泵。

長處

可用于高負(fù)載應(yīng)用，例如大氣~真空的重復(fù)抽真空和高壓區(qū)域的連續(xù)運(yùn)行

非常適合需要高通量的載重鎖室（制備室和取出室）的排氣

與通用感應(yīng)電機(jī)兼容

可安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）

使用多電壓電機(jī)

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

各種沉積設(shè)備的制備室和取出室的排氣

一般工業(yè)應(yīng)用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡

真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。