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正規(guī)電子廠房潔凈檢測必做項目 流程--安衡檢測
必須做項目:車間主要功能間空氣細菌數(shù)、工作臺表面、機器表面、人手表面、紫外強度電子廠車間:(電子廠潔凈度檢測、電子廠無塵車間檢測、無塵車間潔凈度檢測)
應(yīng)當(dāng)按以下要求對潔凈區(qū)的懸浮粒子進行動態(tài)監(jiān)測:(一)根據(jù)潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認的結(jié)果及風(fēng)險評估,確定取樣點的位置并進行日常動態(tài)監(jiān)控。(二)在關(guān)鍵操作的全過程中,包括設(shè)備組裝操作,應(yīng)當(dāng)對A級潔凈區(qū)進行懸浮粒子監(jiān)測。生產(chǎn)過程中的污染(如活生物、放射危害)可能損壞塵埃粒子計數(shù)器時,當(dāng)在設(shè)備調(diào)試操作和模擬操作期間進行測試。A級潔凈區(qū)監(jiān)測的頻率及取樣量,應(yīng)能及時發(fā)現(xiàn)所有人為干預(yù)、偶發(fā)事件及任何系統(tǒng)的損壞。灌裝或分裝時,由于產(chǎn)品本身產(chǎn)生粒子或液滴,允許灌裝點≥5.0μm的懸浮粒子出現(xiàn)不符合標(biāo)準的情況。(三)在B級潔凈區(qū)可采用與A級潔凈區(qū)相似的監(jiān)測系統(tǒng)??筛鶕?jù)B級潔凈區(qū)對相鄰A級潔凈區(qū)的影響程度,調(diào)整采樣頻率和采樣量。(四)懸浮粒子的監(jiān)測系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)考慮采樣管的長度和彎管的半徑對測試結(jié)果的影響。
電子廠房潔凈檢測必做項目 常規(guī)檢測項目:塵埃粒子、溫度、相對濕度、壓差、換氣次數(shù)、照度、噪聲;特殊項目:高效過濾器檢漏、自凈時間、微振、靜電、氣密性、氣流流型GMP車間(藥廠):(GMP車間潔凈度驗收、藥廠凈化車間潔凈度檢測)
3、關(guān)于等速采樣:等速采樣是指在檢測過程中,粒子計數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致,進入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。
空氣懸浮粒子:1.任何潔凈區(qū)內(nèi)取樣點應(yīng)不少于兩個;2.除潔凈區(qū)的設(shè)備限制外,取樣點應(yīng)在整個潔凈區(qū)均勻布置;3.在一個區(qū)域內(nèi)應(yīng)少取樣五次,每個取樣點的取樣次數(shù)可多于一次,不同取樣點的取樣次數(shù)可以不同;為了確定A級區(qū)的級別,每個采樣點的采樣量不得少于1m3。4.取樣點一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺的高度;5.盡量避免在回風(fēng)口附近取樣,而且測試人員應(yīng)站在取樣口的下風(fēng)側(cè)。
目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點:1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時,還可達到減少建設(shè)投資、降低運行費用的目的。
安衡檢測技術(shù)服務(wù)有限公司經(jīng)營范圍包括生物安全柜、潔凈工作臺、生物安全實驗室、潔凈室、醫(yī)院手術(shù)室、中央空調(diào)的環(huán)境檢測服務(wù)及實驗儀器的技術(shù)服務(wù);清潔服務(wù);消毒服務(wù);室內(nèi)環(huán)境檢測;大氣環(huán)境污染防治服務(wù)sxanhengjc
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