一、國(guó)內(nèi)對(duì)測(cè)量工業(yè)顯微鏡的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)

1. 核心*標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 系列）

• GB/T 22056-2023《顯微鏡 光學(xué)和機(jī)械性能測(cè)試方法》
  覆蓋顯微鏡的光學(xué)性能（如分辨率、放大率誤差、像差、照明均勻性）和機(jī)械性能（如載物臺(tái)移動(dòng)精度、調(diào)焦機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性）的測(cè)試方法，是判斷顯微鏡基礎(chǔ)性能是否達(dá)標(biāo)的核心依據(jù)。
• GB/T 19863-2021《顯微鏡 術(shù)語(yǔ)》
  統(tǒng)一顯微鏡（含測(cè)量類）的術(shù)語(yǔ)定義（如 “測(cè)量精度”“工作距離”“視場(chǎng)直徑”），避免計(jì)量過(guò)程中因術(shù)語(yǔ)歧義導(dǎo)致的誤差。
• GB/T 32076-2015《工業(yè)測(cè)量顯微鏡 技術(shù)條件》
  專門針對(duì) “工業(yè)測(cè)量用途” 的顯微鏡，明確其測(cè)量范圍、示值誤差、重復(fù)精度、環(huán)境適應(yīng)性（溫度、濕度、振動(dòng)）等關(guān)鍵指標(biāo)，例如規(guī)定 “測(cè)量范圍≤100mm 時(shí)，示值誤差應(yīng)≤±(3+L/100)μm”（L 為測(cè)量長(zhǎng)度，單位 mm）。

2. 計(jì)量 / 校準(zhǔn)規(guī)程（JJG/JJF 系列）

• JJG 561-2019《工具顯微鏡規(guī)程》
  適用于 “以光學(xué)成像為原理，用于測(cè)量零件尺寸、角度、形狀的工具顯微鏡”（含工業(yè)測(cè)量顯微鏡），規(guī)定了項(xiàng)目（如放大率、示值誤差、十字線對(duì)準(zhǔn)誤差）、工具（如標(biāo)準(zhǔn)玻璃尺、標(biāo)準(zhǔn)角度塊）及合格判定標(biāo)準(zhǔn)。
• JJF 1937-2021《測(cè)量顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》
  補(bǔ)充 JJG 561 的適用范圍，涵蓋更小型、型測(cè)量顯微鏡（如半導(dǎo)體行業(yè)用顯微測(cè)厚儀），明確校準(zhǔn)流程、不確定度評(píng)定方法，更側(cè)重 “非強(qiáng)制” 場(chǎng)景的校準(zhǔn)需求。https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/thickness/