MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160
MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-N160
L 型閥
AB/AE/ABR/AER 系列
軸封方式(波紋管密封、O 形圈密封)可根據(jù)使用目的選擇。
16A~50A 可用于單作用和雙作用。
所有尺寸均與反壓兼容。
真空閥(Vacuum Valve)是專門(mén)用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動(dòng)、調(diào)節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門(mén)。由于真空系統(tǒng)對(duì)密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴(yán)格要求,真空閥的設(shè)計(jì)與普通閥門(mén)有顯著區(qū)別。
真空閥根據(jù)工作原理可分為:
截止型真空閥(如真空擋板閥、真空蝶閥)——用于切斷或接通氣流。
調(diào)節(jié)型真空閥(如真空微調(diào)閥、針閥)——用于控制氣體流量和壓力。
放氣閥(如真空破空閥)——用于向真空腔體引入大氣,平衡壓力。
真空閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、航天模擬、粒子加速器、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域,是真空系統(tǒng)不可或缺的關(guān)鍵組件。
真空閥的特點(diǎn)
特殊密封結(jié)構(gòu)
金屬密封(如銅墊圈、無(wú)氧銅刀口密封)適用于高真空(UHV)環(huán)境,橡膠密封(如氟橡膠、丁腈橡膠)適用于中低真空。
無(wú)油設(shè)計(jì)
高潔凈真空閥采用干式(無(wú)潤(rùn)滑)結(jié)構(gòu),避免油蒸氣污染真空環(huán)境,適用于半導(dǎo)體和光學(xué)鍍膜行業(yè)。
多種驅(qū)動(dòng)方式
手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)或電磁驅(qū)動(dòng),適應(yīng)不同自動(dòng)化需求。
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